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超精密加工的空氣凈化等級(jí)必須達(dá)到100~10000級(jí)。清潔是最常見(jiàn)的空氣凈化方式,凈化后的加工車(chē)間稱(chēng)為潔凈室、超潔凈室。一般而言,凈化主要有兩種類(lèi)型,一種是整體凈化,一種是局部?jī)艋?。局部?jī)艋哂薪?jīng)濟(jì)性,通過(guò)使正壓的清潔空氣流入工作臺(tái)等